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摘要：本公开提供一种石英玻璃缺陷的检测装置，包括：激光光源；激发光路，用于接受来自所述激光光源的激光，并对所述激光进行调制，以形成激发样品所需的激光光斑，所述样品为石英玻璃；发射光路，与所述激发光路垂直，用于将所述荧光汇聚到荧光探测模块；荧光探测模块，用于对所述荧光进行分光以及光电转换后，得到荧光光谱中各波长对应的光强；控制单元，用于控制所述激光光源输出激光进行测试的测试时间，以及根据所述荧光探测模块输出的荧光光谱中各波长对应的光强识别样品缺陷。相较于现有技术，本申请提供的检测装置能够实现对石英玻璃被激光激发荧光光谱的实时、完整地监测，从而能够对石英玻璃中可能的缺陷进行准确、完整地识别。
主权项：1.一种石英玻璃缺陷的检测装置，其特征在于，包括：激光光源，用于向激发光路输出激光；激发光路，用于接受来自所述激光光源的激光，并对所述激光进行调制，以形成激发样品所需的激光光斑，所述样品为石英玻璃；发射光路，与所述激发光路垂直，用于收集所述样品被所述激光光斑激发产生的荧光，并将所述荧光汇聚到荧光探测模块；荧光探测模块，用于接受来自所述发射光路的荧光，对所述荧光进行分光以及光电转换后，得到荧光光谱中各波长对应的光强；控制单元，分别与所述激光光源和所述荧光探测模块连接，用于控制所述激光光源输出激光进行测试的测试时间，以及根据所述荧光探测模块输出的荧光光谱中各波长对应的光强识别样品缺陷。
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百度查询： 北京子牛亦东科技有限公司 一种石英玻璃缺陷的检测装置
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