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摘要：本发明的实施例提供了一种硅基光电集成芯片的测试装置、硅基光电集成芯片及其测试方法，属于芯片测试技术领域。该测试装置包括：可调谐保偏光源，配置成输出保偏光；第一光耦合链路，包括允许保偏光通过的第一保偏光分路器、光功率计、单通道阵列和硅基光电集成芯片的输入端口；第二光耦合链路，包括允许保偏光通过的第二保偏光分路器、至少两个保偏光环形器、光功率计、多通道阵列和硅基光电集成芯片的至少两个保偏光输出端口；1×2路保偏光开关，配置成在第一光耦合链路和第二光耦合链路之间切换保偏光。本发明的测试装置实现了光路耦合和参数测量在同一光路系统中时域复用，一次性完成芯片端口与光纤阵列的对准及芯片性能参数的测评。
主权项：1.一种硅基光电集成芯片的测试装置，其特征在于，所述测试装置包括：可调谐保偏光源，配置成输出保偏光；第一光耦合链路，包括允许所述保偏光通过的第一保偏光分路器、单通道阵列和硅基光电集成芯片的输入端口；第二光耦合链路，包括允许所述保偏光通过的第二保偏光分路器、至少两个保偏光环形器、多通道阵列和所述硅基光电集成芯片的至少两个保偏光输出端口；1×2路保偏光开关，配置成在所述第一光耦合链路和第二光耦合链路之间切换所述保偏光。
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百度查询： NANO科技(北京)有限公司 硅基光电集成芯片的测试装置、硅基光电集成芯片及其测试方法
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