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摘要：本发明提供了一种旋转喷淋头系统、旋转晶圆载台系统及化学气相沉积方法，该旋转喷淋头系统包括：喷淋头，用于分配反应气体；支撑与定位模块，与喷淋头连接，用于支撑喷淋头并保持其稳定；第一传动模块，包括第一旋转轴、第一联轴器和齿轮组，第一旋转轴通过齿轮组同支撑与定位模块连接；第一驱动模块，第一驱动模块通过第一联轴器同第一旋转轴连接；第一控制模块，与第一驱动模块电连接。本发明实现了喷淋头的稳定旋转和精确控制，避免了传统装置中气体分布受限的问题，喷淋头和晶圆载台的相向旋转运动能够显著改善反应气体的流动路径，使得气体在晶圆表面均匀分布，从而提升了沉积的均匀性和薄膜质量。
主权项：1.一种旋转喷淋头系统，用于化学气相沉积装置，其特征在于，所述旋转喷淋头系统包括：喷淋头，用于分配反应气体；支撑与定位模块，与所述喷淋头连接，用于支撑所述喷淋头；第一传动模块，包括第一旋转轴、第一联轴器和齿轮组，所述第一旋转轴通过齿轮组与所述支撑与定位模块连接，用于将动力传送至所述喷淋头；第一驱动模块，所述第一驱动模块通过所述第一联轴器同所述第一旋转轴连接，用于驱动所述喷淋头旋转；第一控制模块，与所述第一驱动模块电连接，用于控制所述喷淋头的运行参数。
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百度查询： 上海积塔半导体有限公司 旋转喷淋头系统、旋转晶圆载台系统及化学气相沉积方法
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