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一种测温坩埚组件及测温方法 

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摘要:本发明提供了一种测温坩埚组件及测温方法,其包括:坩埚,其包括炉底、炉身及炉颈;测温组件,其包括第一测温线及连接机构,第一测温线包括第一正极和第一负极,第一正极及第一负极分别由炉颈穿设至坩埚内部,并贴合坩埚内壁延伸至炉底后电连接,以在坩埚内部形成蒸发源测温部,第一正极和第一负极的自由端分别通过连接机构与电极馈通连接,以进行电热信号转换。本发明中,坩埚与测温组件在结构上高度配合,二者结构相对稳定,由此避免了实验过程中由于环境因素造成接触不良的问题。本申请相比于常规检测技术来说,兼具操作简单、重复性高、可控性强、检测精度高以及检测稳定性强等显著优势,为坩埚测温技术提供又一新思路。

主权项:1.一种测温坩埚组件,其特征在于:包括:坩埚,所述坩埚包括依次连通的炉底、炉身以及炉颈;测温组件,所述测温组件包括第一测温线以及连接机构,所述第一测温线包括第一正极和第一负极,所述第一正极以及所述第一负极分别由所述炉颈穿设至所述坩埚内部,并贴合所述坩埚内壁延伸至所述炉底后电连接,以在所述坩埚内部形成蒸发源测温部,所述第一正极和所述第一负极的自由端分别通过连接机构与电极馈通连接,以进行电热信号转换。

全文数据:

权利要求:

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