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摘要：本发明涉及石英坩埚生产技术领域，具体为一种石英坩埚镀膜装置，包括：喷镀舱、喷涂组件和多维坩埚支架，喷涂组件用于在镀膜过程中将镀膜材料均匀喷射到坩埚表面，而多维坩埚支架负责通过多轴旋转系统使坩埚从不同角度接受喷涂，装置还配备了真空和排气系统、气体供给系统和气氛加热系统，分别负责控制喷镀舱内的真空环境、气体供给以及加热条件。本发明中，通过高集成度的多维坩埚支架，具有水平轴向和竖直轴向的灵活旋转功能，使坩埚在镀膜过程中可以从多个角度接受喷涂，使其在水平和竖直两个轴向上的旋转和定位更加精准，确保了镀膜过程的精确控制，有效提升了镀膜厚度的均匀性和一致性。
主权项：1.一种石英坩埚镀膜装置，其特征在于，包括：喷镀舱（100）、喷涂组件（200）和多维坩埚支架（300），所述喷涂组件（200）与多维坩埚支架（300）均固定设置于喷镀舱（100）的内部；所述喷镀舱（100）的表面设有：真空及排气系统（110），用于对喷镀舱（100）内进行抽气，达到预定的真空度，并排放镀膜过程中产生的废气；气体供给系统（120），与喷涂组件（200）的输入端连通，用于提供镀膜过程中所需的反应气体，并精确控制气体流量与比例；气氛加热系统（130），用于为镀膜过程提供恒定且均匀的温度环境，确保腔室内温度的稳定性；控制系统（140），用于监控和调控镀膜过程中各项参数，包括温度、压力、气体流量以及坩埚和喷涂组件的运动状态；可视窗口（101），设置于喷镀舱（100）表面，用于观察镀膜过程中的舱内运行状态。
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百度查询： 常州裕能石英科技有限公司 一种石英坩埚镀膜装置
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