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一种LED芯片定向下落速度测试及电磁力标定装置 

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摘要:本发明公开了一种LED芯片定向下落速度测试及电磁力标定装置,涉及半导体技术领域,包括脉冲激光器、滤波扩束准直系统、芯片下落室、激光反射系统、磁控单元、高帧率CCD相机、信号同步器、中央控制器,中央控制器与信号同步器相连接,信号同步器分别与脉冲激光器、高帧率CCD相机相连接,脉冲激光器出射的脉冲激光束经滤波扩束准直系统扩束后形成平行激光束,平行激光束从芯片下落室的顶端入射并从芯片下落室的底端出射,高帧率CCD相机接收出射的平行激光束。本发明采用上述结构的一种LED芯片定向下落速度测试及电磁力标定装置,借助粒子图像测速技术对芯片的下落速度及受力进行全方位分析。

主权项:1.一种LED芯片定向下落速度测试及电磁力标定装置,其特征在于:包括脉冲激光器、滤波扩束准直系统、芯片下落室、激光反射系统、磁控单元、高帧率CCD相机、信号同步器、中央控制器,中央控制器与信号同步器相连接,信号同步器分别与脉冲激光器、高帧率CCD相机相连接,脉冲激光器出射的脉冲激光束经滤波扩束准直系统扩束后形成平行激光束,平行激光束从芯片下落室的顶端入射并从芯片下落室的底端出射,高帧率CCD相机接收出射的平行激光束。

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