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摘要：本发明的目的在于提供一种工件支撑装置，其能够在同一位置进行吸附与刚体支持，以谋求装置的精简化且防止颤振。本发明的工件支撑装置具有：箱构件3，设于支持工件2的工件支持部1，且具有轴心4；支撑构件5，沿所述轴心方向移动自如地设于该箱构件3，且该支撑构件的一端部设为自所述箱构件3朝外方突出而支持所述工件2的突出端部6；吸附垫7，同心状地设于所述突出端部6，以吸附于所述工件2；调整装置8，设于所述支撑构件5与所述箱构件3之间，以调整所述支撑构件5对于所述工件2的抵接压；吸气通路9，使与所述工件2抵接的所述吸附垫7内成为负压，并将用以将所述突出端部6吸附固定于所述工件2所设置的吸气口10与设于所述箱构件3的吸引埠11之间连通；以及固定装置13，在所述吸附固定的状态下，将所述支撑构件5固定于所述箱构件3。

主权项：1.一种工件支撑装置，具有：箱构件，设于支持工件的工件支持部，且具有轴心；支撑构件，沿所述轴心方向移动自如地设于该箱构件，且该支撑构件的一端部设为自所述箱构件朝外方突出而支持所述工件的突出端部；吸附垫，同心状地设于所述突出端部，以吸附于所述工件；调整装置，设于所述支撑构件与所述箱构件之间，以调整所述支撑构件对于所述工件的抵接压，且具有缸装置；吸气通路，连通设置于所述吸附垫内的所述突出端部的吸气口与设置于所述箱构件的吸引埠，使与所述工件抵接的所述吸附垫内成为负压，通过所述吸附垫的弹性变形而将所述突出端部拉起，所述突出端部的前端面吸附固定于所述工件的下表面；以及固定装置，在所述吸附固定的状态下，将所述支撑构件固定于所述箱构件；所述固定装置具有：压接构件，以能够容许所述支撑构件的轴方向移动的方式配置于支撑构件的外周面侧，并通过压接于所述支撑构件的外周面而限制支撑构件的轴方向移动；加压部，使该压接构件压接于所述支撑构件的外周面；以及加压通路，使加压流体从设于所述箱构件的流体压供给埠作用于所述加压部；于所述工件支持部形成有：加压流体通路，连通所述缸装置及所述固定装置；以及吸引通路，连通所述吸引埠；所述加压流体通路连接压力产生装置；所述吸引通路连接负压产生装置；所述工件固定于所述工件支持部；通过所述缸装置移动的所述吸附垫接触所述工件的下表面时，通过所述负压产生装置使所述吸附垫内成为负压，使所述突出端部抵接且吸附固定于所述工件，据此，通过所述固定装置使所述支撑构件固定于所述箱构件。

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