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摘要：本发明公开了一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，属于光学镀膜领域，用于解决无法对电子束蒸发镀膜机的工作状况进行分析和判定，且产品的质量检测精确欠佳的问题，包括镀膜质检模块、运行分析模块和故障判定模块，所述运行分析模块用于对电子束蒸发镀膜机的工作状态进行分析，得到电子束蒸发镀膜机的运行偏离值，所述故障判定模块用于对电子束蒸发镀膜机的工作状态进行故障判定，生成正常运行信号或故障检测信号，所述镀膜质检模块用于对光学零件的镀膜质量进行检测，生成镀膜残次信号、镀膜合格信号或镀膜优质信号，本发明方便对电子束蒸发镀膜机的工作状况进行分析和判定，同时提升了电子束蒸发镀膜机产品镀膜质量检测的精确性。

主权项：1.一种光学镀膜用电子束蒸发镀膜机智能监控系统，其特征在于，包括数据采集模块、镀膜质检模块、镀膜调整模块、镀膜匹配模块、运行分析模块、故障判定模块、用户终端以及服务器，所述用户终端用于输入光学零件的镀膜数据并发送至服务器；所述数据采集模块用于采集电子束蒸发镀膜机的运行数据并发送至服务器，所述服务器将运行数据发送至运行分析模块，所述服务器将镀膜数据发送至镀膜匹配模块；所述服务器中存储有加标型号的光学零件的镀膜数据包；镀膜匹配模块依据型号提取服务器中对应光学零件的镀膜数据包，将比对通过的镀膜数据包作为光学零件镀膜时电子束蒸发镀膜机的工作数据，所述镀膜匹配模块将电子束蒸发镀膜机的工作数据发送至镀膜调整模块，镀膜调整模块依据工作数据对电子束蒸发镀膜机的当前工作数据进行调整；所述运行分析模块用于对电子束蒸发镀膜机的工作状态进行分析，分析得到电子束蒸发镀膜机的运行偏离值，所述运行分析模块将电子束蒸发镀膜机的运行偏离值反馈至服务器，所述服务器将电子束蒸发镀膜机的运行偏离值发送至故障判定模块，所述故障判定模块用于对电子束蒸发镀膜机的工作状态进行故障判定，生成正常运行信号或故障检测信号，所述故障判定模块将正常运行信号或故障检测信号反馈至服务器；所述镀膜质检模块用于对光学零件的镀膜质量进行检测，检测生成镀膜残次信号、镀膜合格信号或镀膜优质信号，所述镀膜质检模块将镀膜残次信号、镀膜合格信号或镀膜优质信号反馈至服务器，所述服务器将镀膜残次信号、镀膜合格信号或镀膜优质信号发送至用户终端，用户依据信号知晓光学零件的镀膜质量；所述运行分析模块的分析过程具体如下：步骤一：将电子束蒸发镀膜机标记为u，u＝1，2，……，z，z为正整数；自设定若干个时间点，时间点按照时间顺序进行排列，并在时间点获取电子束蒸发镀膜机对应的实时镀膜真空度、实时镀膜温度值、实时镀膜电压值和实时镀膜电流值；步骤二：利用公式计算得到电子束蒸发镀膜机在光学零件镀膜时的真空度变化均速率ZDJBSu、温度变化均速率WDJBSu、电压变化均速率DYJBSu和电流变化均速率DLJBSu；步骤三：获取服务器中存储的电子束蒸发镀膜机的真空度变化速率阈值ZDYBSu、温度变化速率阈值WDYBSu、电压变化速率阈值DYYBSu和电流变化速率阈值DLYBSu；步骤四：各项数据的变化均速率与变化速率阈值计算差值后，得到真空度变化速率差CZDu、温度变化速率差CWDu、电压变化速率差CDYu和电流变化速率差CDLu；步骤五：将真空度变化速率差CZDu、温度变化速率差CWDu、电压变化速率差CDYu和电流变化速率差CDLu代入计算式YPu＝CZDu×a1+CWDu×a2+CDYu×a3+CDLu×a4计算得到电子束蒸发镀膜机的运行偏离值YPu；式中，a1、a2、a3和a4均为固定数值的权重系数，且a1、a2、a3和a4的取值均大于零；所述故障判定模块的工作过程具体如下：步骤S1：获取电子束蒸发镀膜机的运行偏离阈值X1，X1为大于零的固定数值；步骤S2：若YPu＜X1，则判定电子束蒸发镀膜机处于正常工作状态，生成正常运行信号；步骤S3：若X1≤YPu，则判定电子束蒸发镀膜机处于异常工作状态，生成故障检测信号。

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