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摘要：本发明涉及碳化硅晶体生长技术领域，具体公开了一种碳化硅晶体炉坩埚升降装置及控制方法，包括拆装设置在炉体外壁的加热机构和设置在台体内部用于带动坩埚升降的升降机构，所述台体的顶部固定设有隔热座，隔热座的顶部套设有用于放置坩埚的放置座，本发明通过升降机构对坩埚进行升降，以调整坩埚的高度，且使升降机构的伺服电机在启动时，与坩埚不接触，从而降低伺服电机在启动过程中对坩埚造成的振动，避免避免坩埚内原料摆动或者原料外洒事故的发生，相较于传统仅通过气囊等减震器的方式减少震动，效果较佳，且便于同步带动加热机构移动，使坩埚始终处于最佳加热位置，提高碳化硅晶体生长的稳定性。
主权项：1.一种碳化硅晶体炉坩埚升降装置，包括台体、设置在台体顶部的坩埚和套设在坩埚外侧的炉体，其特征在于，还包括拆装设置在炉体外壁的加热机构和设置在台体内部用于带动坩埚升降的升降机构，所述台体的顶部固定设有隔热座，隔热座的顶部套设有用于放置坩埚的放置座，炉体的内壁套设在隔热座的外侧，升降机构包括：导杆，以放置座的中心点对称固定设于放置座的底部，用于对坩埚的升降进行限位，台体的内侧设置有用于固定导杆的固定组件，固定组件包括：固定套筒，固定设于台体的内侧，固定套筒的内壁固定套设有直线轴承和电磁铁，导杆的侧壁套设在直线轴承和电磁铁的内壁，且导杆采用磁性金属材质制成，导杆的侧壁且位于固定套筒的底部均设置有用于调整加热机构高度的抬升组件，抬升组件包括：抬升架，固定套设于导杆的侧壁，且位于固定套筒的底部，抬升架远离导杆的一端延伸至台体的顶部。
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百度查询： 中能兴盛(香河)机电设备有限公司 一种碳化硅晶体炉坩埚升降装置及控制方法
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