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一种氮化硅陶瓷薄片及其制备工艺 

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摘要:本发明公开了一种氮化硅陶瓷薄片及其制备工艺,涉及氮化硅陶瓷薄片相关领域,包括陶瓷薄片和涂层结构。本发明通过陶瓷薄片顶部涂覆有涂层结构,涂层结构中同时引入导电、导热和抗磨功能,并采用合理的多层设计来优化各层的匹配性,氧化铝作为底层,能增强涂层与氮化硅陶瓷基体的附着力,并提供高硬度和耐腐蚀性;碳化硅作为中间层,具备出色的导热性和耐高温性能,提升材料的热管理能力;氮化钛作为表面层,具有优异的抗磨损、抗氧化和抗腐蚀特性,确保涂层在苛刻环境下的长期稳定性和耐用性,这种多层涂层结构的组合极大增强了氮化硅陶瓷的功能性和耐久性。

主权项:1.一种氮化硅陶瓷薄片,其特征在于:包括陶瓷薄片,所述陶瓷薄片顶部设有涂层结构,所述涂层结构包括涂覆于陶瓷薄片上的过渡层,过渡层另一面涂覆有功能层,所述功能层另一面涂覆保护层;过渡层为氧化铝,功能层为碳化硅,保护层为氮化钛。

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