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摘要：本发明公开了一种高能氢离子注入过程中的晶圆冷却装置，包括真空辐照舱，真空辐照舱用于为氢离子提供必要真空环境，所述真空辐照舱顶部安装有束流线：束流线用于引导高能氢离子以精确的轨迹射向目标，以保证辐照过程的效率和效果；托盘，安装于真空辐照舱内，用于承载晶圆，滚筒线，设置于托盘下方，用于将装有晶圆的托盘精确地移动到束流线下侧，确保晶圆处于氢离子的辐照范围内；所述滚筒线下方设置有半导体组件，用于吸收托盘上的热量，其优点在于，通过外部手段对托盘降温，进而对晶圆降温，不对晶圆直接降温，可靠性高。
主权项：1.一种高能氢离子注入过程中的晶圆冷却装置，其特征在于：包括真空辐照舱（2），真空辐照舱（2）用于为氢离子（3）提供必要真空环境，所述真空辐照舱（2）顶部安装有束流线（1）：束流线（1）用于引导高能氢离子（3）以精确的轨迹射向目标，以保证辐照过程的效率和效果；托盘（4），安装于真空辐照舱（2）内，用于承载晶圆，滚筒线（5），设置于托盘（4）下方，用于将装有晶圆的托盘（4）精确地移动到束流线（1）下侧，确保晶圆处于氢离子（3）的辐照范围内；所述滚筒线（5）下方设置有半导体组件，用于吸收托盘（4）上的热量（7）。
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百度查询： 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司 一种高能氢离子注入过程中的晶圆冷却装置
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