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摘要：本公开提供了一种位线间耦合效应的表征方法及装置，涉及半导体技术领域。该方法包括：提供测试元件组TEG测试结构，TEG测试结构包括待测位线以及待测位线的多条相邻位线；在待测位线处于空置状态且多条相邻位线施加有预设工作电压的情况下，检测待测位线相较于基准电势端的第一测试电压；基于第一测试电压，确定目标调整电压，其中，目标调整电压用于表征位线间耦合效应对待测位线的电位抬升量。根据本公开实施例，能够对位线间耦合效应的表征精度进行定量表征。
主权项：1.一种位线间耦合效应的表征方法，其特征在于，所述方法包括：提供测试元件组TEG测试结构，所述TEG测试结构包括待测位线以及所述待测位线的多条相邻位线；在所述待测位线处于空置状态且所述多条相邻位线施加有预设工作电压的情况下，检测所述待测位线相较于基准电势端的第一测试电压；基于所述第一测试电压，确定目标调整电压，其中，所述目标调整电压用于表征位线间耦合效应对待测位线的电位抬升量。
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百度查询： 长鑫存储技术有限公司 位线间耦合效应的表征方法及装置
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