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摘要：本公开涉及辅助热光移相器。提供了热光移相器的结构和形成热光移相器的方法。该结构包括半导体衬底和发热器，该发热器包括第一电阻发热元件、第二电阻发热元件以及将第一电阻发热元件连接到第二电阻发热元件的板层。第一电阻发热元件和第二电阻发热元件具有第一厚度，并且，板层具有小于第一厚度的第二厚度。该结构还包括波导芯，该波导芯包括横向定位在第一电阻发热元件和第二电阻发热元件之间的一部分。发热器的板层设置在波导芯的该一部分和半导体衬底之间。
主权项：1.一种热光移相器的结构，所述结构包括：半导体衬底；发热器，其包括第一电阻发热元件、第二电阻发热元件，以及将所述第一电阻发热元件连接到所述第二电阻发热元件的板层，所述第一电阻发热元件和所述第二电阻发热元件具有第一厚度，并且，所述板层具有小于所述第一厚度的第二厚度；以及第一波导芯，其包括横向定位在所述第一电阻发热元件和所述第二电阻发热元件之间的第一部分，其中，所述发热器的所述板层设置在所述第一波导芯的所述第一部分和所述半导体衬底之间。
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百度查询： 格芯(美国)集成电路科技有限公司 辅助热光移相器
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