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摘要：本发明公开了一种调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法，该装置包括：磁体和绝缘板；所述磁体包括球形磁体和环形磁体；所述绝缘板沿高度方向设置有圆形通孔和环形通孔，所述圆形通孔与所述环形通孔为同心圆，所述环形通孔的内径大于所述圆形通孔的直径，所述球形磁体适配装设于所述圆形通孔内，所述球形磁体的直径等于所述圆形通孔的深度；所述环形磁体适配装设于所述环形通孔内，所述环形磁体的高度等于所述环形通孔的深度；所述环形磁体的磁极方向与所述绝缘板沿高度方向平行，所述球形磁体与所述环形磁体的磁极方向相反。本发明中，有效地改善溅射坑形貌不平坦、溅射不均匀的问题，并且在提高信号强度的基础上提高深度分辨率。
主权项：1.一种调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置，其特征在于，包括：磁体和绝缘板；所述磁体包括球形磁体和环形磁体，所述球形磁体用于提供球形磁场，所述环形磁体用于提供环形磁场；所述绝缘板沿高度方向设置有圆形通孔和环形通孔，所述圆形通孔与所述环形通孔为同心圆，所述环形通孔的内径大于所述圆形通孔的直径，所述球形磁体适配装设于所述圆形通孔内，所述球形磁体的直径等于所述圆形通孔的深度；所述环形磁体适配装设于所述环形通孔内，所述环形磁体的高度等于所述环形通孔的深度；所述环形磁体的磁极方向与所述绝缘板沿高度方向平行，所述球形磁体的磁极方向与所述环形磁体的磁极方向相反。
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百度查询： 中国科学院上海硅酸盐研究所 调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法
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