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摘要：本发明涉及一种钛镧共掺的类金刚石涂层及其制备方法，该类金刚石涂层包括基体1表面的过渡层2和梯度层3，所述的过渡层2采用TiN层，所述的梯度层3采用梯度功率钛镧共掺的类金刚石层；所述的梯度层3包括三层梯度分层；该方法包括基体1离子刻蚀清洗、过渡层2沉积和梯度层3沉积；基体1离子刻蚀清洗前基体1预处理。与现有技术相比，本发明不仅具备类金刚石涂层高硬度、低摩擦系数、良好的化学惰性，同时也表现出较低的内应力，而且采用过渡层和梯度层的设计提高了膜基结合力，使用该涂层涂覆的刀具在切削有色金属时表现出优异的切削寿命。
主权项：1.一种钛镧共掺的类金刚石涂层，其特征在于，该类金刚石涂层包括基体（1）表面的过渡层（2）和梯度层（3），所述的过渡层（2）采用TiN层，所述的梯度层（3）采用梯度功率钛镧共掺的类金刚石层；所述的过渡层（2）的沉积过程中反应气体为氮气，以Ti靶作为钛元素的来源，所述的梯度层（3）的沉积过程中通入离化气体，以石墨靶作为碳元素的来源，以LaTi靶作为掺杂源，保持石墨靶功率，提升LaTi靶功率多层梯度沉积梯度层（3）；LaTi靶为La0.03Ti0.97靶，La与Ti原子比为3:97；气压为0.5~0.6Pa，离化气体为氩气，流量为240~260sccm；石墨靶功率为120~125W；第一次LaTi靶功率为20~25W，沉积时间为2.0~2.2h；第二次LaTi靶功率为40~45W，沉积时间为2.0~2.2h；第三次LaTi靶功率为60~65W，沉积时间为2.0~2.2h。
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百度查询： 上海应用技术大学 一种钛/镧共掺的类金刚石涂层及其制备方法
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