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摘要：本发明属于在线镀膜检测技术领域，具体涉及一种基于参考光路光谱椭偏技术的在线镀膜检测装置，包括光源、起偏臂、第一可移动反射镜、镀膜箱、被镀薄膜、被镀薄膜衬底、第二可移动反射镜、检偏器和探测器，所述光源的光路方向上设置有起偏臂，所述起偏臂的光路方向上设置有镀膜箱，所述被镀薄膜设置在镀膜箱内，所述被镀薄膜设置在起偏臂的光路方向上，所述被镀薄膜的反射光路方向上设置有检偏器，所述检偏器的光路方向上设置有探测器。本发明的第一可移动反射镜和第二可移动反射镜可移动改变光路，通过外加参考光路实现镀膜箱内部环境光学参数变化、镀膜窗口污染的检测，进而修正椭偏在线镀膜检测结果，提高了镀膜中薄膜测量精度。
主权项：1.一种基于参考光路光谱椭偏技术的在线镀膜检测装置，其特征在于：包括光源1、起偏臂2、第一可移动反射镜3、镀膜箱4、被镀薄膜5、被镀薄膜衬底6、第二可移动反射镜7、检偏器8和探测器9，所述光源1的光路方向上设置有起偏臂2，所述起偏臂2的光路方向上设置有镀膜箱4，所述被镀薄膜5设置在镀膜箱4内，所述被镀薄膜5设置在起偏臂2的光路方向上，所述被镀薄膜5的反射光路方向上设置有检偏器8，所述检偏器8的光路方向上设置有探测器9；所述镀膜箱4包括镀膜箱壁4-1、第一光学窗口4-2和第二光学窗口4-3，所述镀膜箱壁4-1的两侧分别开设有第一光学窗口4-2和第二光学窗口4-3；所述第一光学窗口4-2设置在起偏臂2的光路方向上，所述第二光学窗口4-3设置在被镀薄膜5的反射光路方向上；所述起偏臂2与镀膜箱4之间设置有第一可移动反射镜3，所述镀膜箱4与检偏器8之间设置有第二可移动反射镜7；所述镀膜箱4内设置有被镀薄膜衬底6，所述被镀薄膜5设置在被镀薄膜衬底6上。
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百度查询： 中北大学 一种基于参考光路光谱椭偏技术的在线镀膜检测装置
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