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原位椭偏仪电化学池、检测系统及测量钝化膜厚度的方法 

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摘要:本发明专利公开了一种原位椭偏仪电化学池、检测系统及测量钝化膜厚度的方法。该方法可以采用原位椭偏仪电化学池与椭偏仪光路耦合后,在样品实时进行电化学反应过程中,椭偏仪透光光路进行入射和采集反射信号后,对收集信号进行建模分析,得到实时的钝化膜厚度。本发明适用于钝化金属不同环境下的原位电化学光谱实验,不仅可以得到反应任一阶段的电化学数据,还可以得到材料表面钝化膜厚度随时间变化的情况。

主权项:1.一种用于测量钝化膜厚度的原位椭偏仪电化学池,其特征在于:所述原位椭偏仪电化学池的内部具有一空腔,所述原位椭偏仪电化学池的顶部端面设置有电极插口和通气口,所述电极插口和所述通气口与所述空腔相连通,所述原位椭偏仪电化学池的底部端面设置有样品安装口,所述样品安装口与所述空腔相连通,所述原位椭偏仪电化学池的底部端面还设置有一电极线引出槽,所述电极线引出槽的一端指向所述样品安装口,另一端指向所述原位椭偏仪电化学池的侧面,以及,所述原位椭偏仪电化学池的侧面还设置有第一透光结构和第二透光结构,所述第一透光结构和所述第二透光结构相对设置在所述空腔的两侧,且所述第一透光结构和所述第二透光结构设置在椭偏仪提供的检测光的光路上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 原位椭偏仪电化学池、检测系统及测量钝化膜厚度的方法

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