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申请/专利权人：武汉颐光科技有限公司
摘要：本发明提供一种椭偏仪全局参数校准方法及校准系统，方法包括：获取标准样件的测量光强信号，进行傅里叶分析，计算全光谱范围下的测量傅里叶系数；根据椭偏仪的结构参数，计算其偏振特性参数；根据偏振特性参数和全局参数，计算理论傅里叶系数；计算理论傅里叶系数和所述测量傅里叶系数之间的评价函数，通过不断调整待校准双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的结构参数和全局参数，迭代更新评价函数，直到评价函数小于设定阈值，获取校准后的全局参数。本发明提出的双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的全局校准算法，只需要一次校准就能获得全光谱范围的系统参数，同时得到真实的安装方位角参数，有助于降低仪器出厂的系统差异。
主权项：1.一种椭偏仪全局参数校准方法，其特征在于，包括：获取标准样件的测量光强信号，对所述测量光强信号进行傅里叶分析，计算全光谱范围下的测量傅里叶系数；根据待校准双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的结构参数，计算其偏振特性参数；根据所述偏振特性参数和部分全局参数，计算对应的系统参数，以及基于所述系统参数和全局参数，计算理论傅里叶系数；计算所述理论傅里叶系数和所述测量傅里叶系数之间的评价函数，通过不断调整待校准双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的结构参数和全局参数，迭代更新所述评价函数，直到所述评价函数小于设定阈值，获取校准后的全局参数；基于所述系统参数和全局参数，计算理论傅里叶系数，包括：根据所述系统参数和全局参数，计算理论光强信号；基于所述理论光强信号，对所述理论光强信号进行傅里叶分析，计算全光谱范围下的理论傅里叶系数；根据所述偏振特性参数和部分全局参数，计算对应的系统参数，包括： 其中，Ppλ、Apλ、CS1λ、CS2λ、δ1λ和δ2λ为系统参数，ρ1、ρ2、θ1、θ2、δ1和δ2为偏振特性参数，其中，δ1为第一个旋转补偿器的相位延迟量，δ2为第二个旋转补偿器的相位延迟量，P0、A0、CS10和CS20为部分全局参数，其中，P0、A0、CS10、CS20分别为起偏器、检偏器、第一个旋转补偿器和第二个旋转补偿器的安装方位角。
全文数据：
权利要求：
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