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一种单晶硅片切割装置 

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申请/专利权人:杭州顶星电子有限公司

摘要:本实用新型涉及切割装置技术领域,具体涉及一种单晶硅片切割装置,包括切割装置,切割装置的中部设置有切割台,切割台上端设置有切割机构,切割机构包括底框、凹槽、电机一和切割齿轮;底框的左右两侧固定连接有相互对称的衔接框,衔接框的内部设置有电机三,电机三的右侧转动有螺杆二。本实用新型通过启动电机三、螺杆二和滑块三的设置,带动滑块三进行滑动,实现该单晶硅棒的移动,移动至切割机构的下方时,电机一带动切割齿轮进行水平的左右移动,设置的液压杆实现对该切割齿轮的上下升降运动,切割齿轮对多根单晶硅棒的头部同时进行切片,工作效率高,防止由于单晶硅棒晃动导致影响切片精度的效果会产生较多的损耗,且单晶硅棒的利用率好。

主权项:1.一种单晶硅片切割装置,包括切割装置1,切割装置1的中部设置有切割台2;其特征在于,切割台2上端设置有切割机构8,切割机构8包括底框81、凹槽82、电机一83和切割齿轮92;底框81的左右两侧固定连接有相互对称的衔接框10,衔接框10的内部设置有电机三11,电机三11的右侧转动有螺杆二12,螺杆二12上螺纹连接有滑块三13,所述衔接框10的内侧壁开设有内滑槽14;滑块三13的上端连接有竖块15,竖块15的内侧卡斯和有滑槽17,两个竖块15之间固定连接有衔接板16,滑槽17的内部滑动连接有滑块四18,滑块四18和衔接板16上紧固连接有螺栓19;两个滑块三13之间固定连接有放置槽20,放置槽20的内部抵紧连接有单晶硅棒21。

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权利要求:

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