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申请/专利权人：天合光能股份有限公司;天合光能(青海)晶硅有限公司
摘要：本发明涉及单晶硅籽晶清洗技术领域，具体提供一种单晶硅籽晶的清洗方法及清洗装置，旨在解决现有采用混酸清洗的方式，导致单晶硅籽晶表面腐蚀不均，废料处理繁琐以及安全性差的问题。为此目的，本发明的清洗方法包括向单晶硅籽晶喷射干冰微粒，本发明的清洗装置包括固定件、设置在固定件上的驱动机构和喷射机构、可自转地设置在固定件上的主动机构和从动机构，驱动机构的驱动端与主动机构连接，单晶硅籽晶的一端可自转地设置在主动机构上，单晶硅籽晶的另一端可自转地设置在从动机构上，喷射机构朝向单晶硅籽晶设置且可喷射干冰微粒。本发明通过采用干冰清洗的方式，能够快速清洗表面污染物，提高良品率，降低清洗成本，解决污染环境的问题。
主权项：1.一种单晶硅籽晶的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括：向所述单晶硅籽晶喷射干冰微粒。
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百度查询： 天合光能股份有限公司 天合光能(青海)晶硅有限公司 一种单晶硅籽晶的清洗方法及清洗装置
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