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申请/专利权人：安徽源芯微电子有限责任公司
摘要：本实用新型提供了一种二极管制造用的蚀刻装置，包括箱体，所述箱体的内表面设有蚀刻液箱，所述蚀刻液箱的上方设有蚀刻板，所述箱体的上表面设有与蚀刻板相接的摆动组件；所述摆动组件包括设置于箱体上表面的双轴电机，所述双轴电机输出轴的两端连接有第一转轴，所述第一转轴的外表面缠绕有斜对称设置的第一弹性绳、第二弹性绳；所述摆动组件还包括设置于蚀刻板两侧表面的斜向连接杆，所述斜向连接杆的两端连接有升降组件，所述斜向连接杆的壳体上转动连接有与升降组件相接的第二转轴；本实用新型通过摆动组件可以将蚀刻液与二极管充分接触，解决了蚀刻液不能完全与二极管充分接触的问题。
主权项：1.一种二极管制造用的蚀刻装置，包括箱体10，其特征在于:所述箱体10的内表面设有蚀刻液箱11，所述蚀刻液箱11的上方设有蚀刻板12，所述箱体10的上表面设有与蚀刻板12相接的摆动组件20；所述摆动组件20包括设置于箱体10上表面的双轴电机21，所述双轴电机21输出轴的两端连接有第一转轴22，所述第一转轴22的外表面缠绕有斜对称设置的第一弹性绳24，所述第一转轴22的一侧缠绕有斜对称设置的第二弹性绳25，所述第一弹性绳24与第二弹性绳25均贯穿箱体10、并连接所述蚀刻板12的四角；所述摆动组件20还包括设置于蚀刻板12两侧表面的斜向连接杆26，所述斜向连接杆26的两端连接有升降组件30，所述斜向连接杆26的壳体上转动连接有与升降组件30相接的第二转轴27；所述第一弹性绳24与第二弹性绳25的缠绕方向相反。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽源芯微电子有限责任公司 一种二极管制造用的蚀刻装置
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