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申请/专利权人：天合光能股份有限公司
摘要：本发明涉及太阳能电池，具体提供一种TBC太阳能电池及制备方法，旨在解决现有TBC电池制备工艺复杂的问题。为此目的，本发明的TBC太阳能电池的制备方法包括：提供衬底，衬底包括第一表面；在第一表面上依次形成隧穿氧化层和本征多晶硅层；在本征多晶硅层上进行掺杂以形成第一掺杂层；在本征多晶硅层上进行激光掺杂以形成第二掺杂层，第一掺杂层和第二掺杂层的掺杂类型相反，第一掺杂层和第二掺杂层之间具有由未掺杂的本征多晶硅层形成的隔离区，以隔离第一掺杂层和第二掺杂层。本发明只需一次沉积本征多晶硅层，第一掺杂层和第二掺杂层形成于同一层本征多晶硅层内，能够缩短工艺时长，降低能耗。
主权项：1.一种TBC太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：提供衬底1，所述衬底1包括第一表面11；在所述第一表面11上依次形成隧穿氧化层2和本征多晶硅层3；在所述本征多晶硅层3上进行掺杂以形成第一掺杂层31；在所述本征多晶硅层3上进行激光掺杂以形成第二掺杂层32，所述第一掺杂层31和所述第二掺杂层32的掺杂类型相反；所述第一掺杂层31和所述第二掺杂层32之间具有由未掺杂的所述本征多晶硅层3形成的隔离区33，以隔离所述第一掺杂层31和所述第二掺杂层32。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能股份有限公司 TBC太阳能电池及制备方法
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