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申请/专利权人:一道新能源科技股份有限公司
摘要:本申请公开了一种阳能电池制备方法及阳能电池,阳能电池制备方法包括:对硅衬底进行制绒得到硅基体;采用预制工装对硅基体进行磷离子注入,以在硅基体表面的第一掺杂区形成第一掺杂层,以及在硅基体表面的第二掺杂区形成第二掺杂层,第一掺杂层的磷原子浓度大于第二掺杂层的磷原子浓度;对硅基体进行镀膜及印刷烧结,以得到太阳能电池;其中,预设工装包括工装本体,工装本体上沿第一方向开设有多个第一注料孔和多个第二注料孔,第一注料孔和第二注料孔沿第二方向交替设置,第二方向垂直于第一方向;沿第一方向,第一注料孔的长度大于第二注料孔的长度;第一注料孔用于向第一掺杂区注入磷离子,第二注料孔用于向第二掺杂区注入磷离子。
主权项:1.一种太阳能电池制备方法,其特征在于,包括:对硅衬底进行制绒得到硅基体;采用预制工装对所述硅基体进行磷离子注入,以在所述硅基体表面的第一掺杂区形成第一掺杂层,以及在所述硅基体表面的第二掺杂区形成第二掺杂层,所述第一掺杂层的磷原子浓度大于第二掺杂层的磷原子浓度;对所述硅基体进行镀膜及印刷烧结,以得到太阳能电池;其中,所述预设工装包括工装本体,所述工装本体上开设有多个沿第一方向延伸的第一注料孔和第二注料孔,所述第一注料孔和所述第二注料孔沿第二方向交替设置,所述第二方向垂直于所述第一方向;沿所述第一方向,所述第一注料孔的长度大于所述第二注料孔的长度;所述第一注料孔用于向所述第一掺杂区注入磷离子,所述第二注料孔用于向所述第二掺杂区注入磷离子。
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权利要求:
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