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共漏极MOSFET器件及制备方法、电子设备及制备方法 

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申请/专利权人:深圳市创飞芯源半导体有限公司

摘要:本申请提供一种共漏极MOSFET器件及制备方法、电子设备及制备方法,所述共漏极MOSFET器件,包括:衬底层,具有第一导电类型;外延层,所述外延层在所述衬底层的第一表面上生长,且具有所述第一导电类型;沟槽,形成在所述衬底层的第二表面上;金属层,淀积在所述沟槽的侧壁上;钝化层;填充在所述沟槽中,从而解决了现有技术中共漏极MOSFET器件的电流通路中电阻大的技术问题。

主权项:1.一种共漏极MOSFET器件,其特征在于,包括:衬底层,具有第一导电类型;外延层,所述外延层在所述衬底层的第一表面上生长,且具有所述第一导电类型;沟槽,形成在所述衬底层的第二表面上;金属层,淀积在所述沟槽的侧壁上;钝化层;填充在所述沟槽中。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市创飞芯源半导体有限公司 共漏极MOSFET器件及制备方法、电子设备及制备方法

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