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申请/专利权人：珠海格力电器股份有限公司
摘要：本申请公开了一种功率器件的制备方法及功率器件，所述方法包括：对晶圆中第一表面上的原始光刻胶层进行第一光刻处理，得到第一光刻胶层；基于第一光刻胶层中的第一图案，对第一光刻胶层和第一区域进行一次干刻处理，在晶圆的所述第一区域处形成第一沟槽；对一次干刻处理后的第一光刻胶层进行第二光刻处理，得到第二光刻胶层；基于第二光刻胶层中的第二图案，对第二光刻胶层、第二区域和第一沟槽进行二次干刻处理，得到第二沟槽；基于包含第二沟槽的晶圆，制备功率器件。本申请实施例可以通过二次干刻处理将晶圆中一次干刻处理形成的损伤层去除，提高了功率器件性能和可靠性。
主权项：1.一种功率器件的制备方法，其特征在于，所述方法包括：对晶圆中第一表面上的原始光刻胶层进行第一光刻处理，得到第一光刻胶层；所述第一光刻胶层包括暴露所述第一表面中第一区域的第一图案；基于所述第一图案，对所述第一光刻胶层和所述第一区域进行一次干刻处理，在所述晶圆的所述第一区域处形成第一沟槽；对一次干刻处理后的第一光刻胶层进行第二光刻处理，得到第二光刻胶层；所述第二光刻胶层包括暴露所述第一沟槽和第二区域的第二图案；所述第二区域为所述第一表面中与所述第一沟槽的侧壁连接的区域；基于所述第二图案，对所述第二光刻胶层、所述第二区域和所述第一沟槽进行二次干刻处理，得到第二沟槽；所述第二沟槽的尺寸与所述第一沟槽的尺寸之间的差值大于或者等于所述一次干刻处理在所述晶圆中形成的损伤层的厚度；所述二次干刻处理的功率小于所述一次干刻处理的功率；基于包含所述第二沟槽的晶圆，制备功率器件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海格力电器股份有限公司 功率器件的制备方法及功率器件
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