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申请/专利权人：河北冠靶科技有限公司
摘要：本申请涉及溅射靶材技术领域，尤其涉及一种氧化锡锑陶瓷靶材的制备方法。制备方法包括以下步骤：S1、混合原料：将氧化锡粉末、氧化锑粉末和添加剂混合均匀，制成浆料；S2、球磨过程；S3、砂磨过程；S4、喷雾造粒；S5、模压成型：通过精确控制的模压成型压力和等静压保持时间，得到密度高、缺陷少的原始靶材素坯，再通过更高压力的冷等静压压制，进一步提高素坯的均匀性和致密度。S6、脱脂和烧结：通过预脱脂和最终烧结，实现了靶材素坯的完全固化成型和致密化，同时在氧气氛围下烧结有助于提升产品的质量和性能。本申请的氧化锡锑陶瓷靶材制备方法不仅在技术和经济上具有显著优势，而且在环境保护和资源利用方面也表现出色，为高性能靶材的生产提供了一种高效、可靠和可持续的途径。
主权项：1.一种氧化锡锑陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将氧化锡粉末、氧化锑粉末和添加剂混合均匀，制成浆料；S2、将浆料及氧化锆磨球装入球磨罐里，进球磨，得到混合浆体；S3、将混合浆体和烧结助剂在砂磨机上进行砂磨，其中，砂磨机的砂磨过程设定为依次进行的低速、高速和减速过程，低速过程的频率设定为15Hz，高速过程的频率设定为25Hz，减速过程的频率设定为10Hz，砂磨总时间控制为40-50min；S4、将砂磨后的混合浆体进行喷雾造粒，过筛，得到粉体；S5、粉体进行模压成型，所述模压成型压力控制为50-60Mpa，等静压保持3-5min，得到原始靶材素坯，再将得到的原始靶材素坯进一步在220-240Mpa下冷等静压压制3-5min，得到均匀靶材素坯；S6、将均匀靶材素坯进行脱脂、烧结，得到氧化锡锑陶瓷靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河北冠靶科技有限公司 一种氧化锡锑陶瓷靶材的制备方法
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