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申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要：本发明公开一种用于圆筒靶材的烧结炉，包括底座、定位筒及多组滚动组件。定位筒一端与底座连接，多组滚动组件设置于底座与定位筒连接的一侧，且围绕定位筒间隔布设，每组滚动组件均包括多个滚珠，且每组滚动组件中的多个滚珠沿定位筒的径向依次排布，每一滚珠均可转动的设置。将圆筒靶材套在定位筒的外侧，且支撑在滚珠上，烧结过程中，圆筒靶材收缩，由于滚珠可转动地设置，能够减小对圆筒靶材的阻力，从而避免圆筒靶材收缩过程中底部变形，提高圆筒靶材烧结的质量。
主权项：1.一种用于圆筒靶材的烧结炉，其特征在于，包括：底座；定位筒，一端与所述底座连接；多组滚动组件，设置于所述底座与所述定位筒连接的一侧，且围绕所述定位筒间隔布设，每组所述滚动组件均包括多个滚珠，且每组所述滚动组件中的多个所述滚珠沿所述定位筒的径向依次排布，每一所述滚珠均可转动的设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 用于圆筒靶材的烧结炉
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