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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于新材料技术领域，公开了一种高密度氧化物靶材的制备方法，将第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末混合后模压成型并烧结，得到靶材；所述第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末中均含有不低于97wt％的氧化铟；所述第一氧化物前驱体粉末的重量相当于第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末的总重量的80％～90％；所述第一氧化物前驱体粉末的粒径为20～30μm；所述第二氧化物前驱体粉末的粒径为45～73μm。本发明的方法针对高氧化铟含量的靶材，采用了少量大粒径前驱体粉末和大量的小粒径前驱体粉末，可以有效的改善该类型的靶材的相对密度、降低电阻率、提高成型效果。同时，本发明还提供了该高密度氧化物靶材。
主权项：1.一种高密度氧化物靶材的制备方法，其特征在于，将第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末混合后模压成型并烧结，得到靶材；所述第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末中均含有不低于97wt％的氧化铟；所述第一氧化物前驱体粉末的重量相当于第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末的总重量的80％～90％；所述第一氧化物前驱体粉末的粒径为20～30μm；所述第二氧化物前驱体粉末的粒径为45～73μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种高密度氧化物靶材及其制备方法
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