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申请/专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
摘要：本申请适用于微发光二极管巨量转移技术领域，提供一种基板吸附装置及微发光二极管巨量转移设备，所述基板吸附装置包括：基板吸附载具，从中心向外分布有多个吸附区域，各所述吸附区域设有吸附部和顶针孔；多个顶针，与各所述顶针孔的位置对应；升降组件，连接于所述顶针，以带动所述顶针沿升降方向在对应的所述顶针孔中相对所述基板吸附载具上升或下降，使得沿所述升降方向所述顶针的顶端高于或低于对应的所述吸附区域所在的高度位置。本申请的实施例提供的基板吸附装置能提高生产效率。
主权项：1.一种基板吸附装置，其特征在于，包括：基板吸附载具，从中心向外分布有多个吸附区域，各所述吸附区域设有吸附部和顶针孔；多个顶针，与各所述顶针孔的位置对应；升降组件，连接于所述顶针，以带动所述顶针沿升降方向在对应的所述顶针孔中相对所述基板吸附载具上升或下降，使得沿所述升降方向所述顶针的顶端高于或低于对应的所述吸附区域所在的高度位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市大族半导体装备科技有限公司 基板吸附装置及微发光二极管巨量转移设备
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