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申请/专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
摘要：本申请适用于微发光二极管巨量转移技术领域，提供一种基板上下料装置及微发光二极管巨量转移设备，所述基板上下料装置包括：基板吸附载具；旋转驱动组件，连接于所述基板吸附载具，以驱动所述基板吸附载具旋转；升降组件，连接于所述旋转驱动组件。本申请的实施例提供的基板上下料装置能提高生产效率。
主权项：1.一种基板上下料装置，其特征在于，包括：基板吸附载具；旋转驱动组件，连接于所述基板吸附载具，以驱动所述基板吸附载具旋转；升降组件，连接于所述旋转驱动组件；第一接头组件，设置于所述旋转驱动组件，通过气管连接于所述基板吸附载具且能跟随所述基板吸附载具旋转；第二接头组件，能连通于所述第一接头组件且能相对所述第一接头组件转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市大族半导体装备科技有限公司 基板上下料装置及微发光二极管巨量转移设备
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