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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：公开了用于检查玻璃基板的装置。用于检查玻璃基板的装置包括平台、第一光源、第一相机、第二光源、第二相机以及缺陷检测单元，其中：平台配置为支撑玻璃基板；第一光源用于以第一角度将光照射到玻璃基板的表面上；第一相机用于捕获从第一光源照射的光的散射光；第二光源用于以大于第一角度的第二角度将光照射到玻璃基板的表面上；第二相机用于捕获从第二光源照射的光的反射光和散射光；缺陷检测单元用于使用由第一相机提供的第一图像和由第二相机提供的第二图像检测玻璃基板的缺陷。
主权项：1.用于检查玻璃基板的装置，所述装置包括：平台，配置为支撑所述玻璃基板；第一光源，用于以第一角度将光照射到所述玻璃基板的表面上；第一相机，用于捕获从所述第一光源照射的所述光的散射光；第二光源，用于以大于所述第一角度的第二角度将光照射到所述玻璃基板的所述表面上；第二相机，用于捕获从所述第二光源照射的所述光的反射光和散射光；缺陷检测单元，用于使用由所述第一相机提供的第一图像和由所述第二相机提供的第二图像检测所述玻璃基板的缺陷，其中，所述缺陷检测单元包括：权重计算单元，所述权重计算单元用于计算所述第二图像中的多个区域中的每个区域的像素的标准偏差，并使用所述标准偏差为所述多个区域中的每个区域计算权重；图像生成单元，用于将所述权重应用于所述第一图像以生成校正的第一图像；以及缺陷确定单元，用于使用所述校正的第一图像确定所述玻璃基板的缺陷，以及其中，所述权重计算单元配置为将所述第二图像划分为所述多个区域，并使用所述多个区域中的每个区域的所述像素的灰度值和平均灰度值计算所述标准偏差。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星显示有限公司 用于检查玻璃基板的装置
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