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申请/专利权人：新疆蓝晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司
摘要：本公开一种用于晶片的治具，该治具用于在清洗晶片表面脏污时的承托晶片，该治具包括支撑件、柔性垫和限位片，支撑件具有安装面，柔性垫具有相对的第一面和第二面，第一面连接于安装面，限位片连接于第二面；限位片上设置有限位孔，限位孔的形状和尺寸适于与晶片适配，以用于容纳晶片。当需要清洗晶片时，可将晶片放置在限位孔内进行清洁，可以有效去除晶片表面的脏污，解决晶片表面洁净度差的问题，有利于减少退火后产生表面形态不符合标准的晶片，可以降低晶片的不良率。
主权项：1.一种用于晶片的治具，其特征在于，包括：支撑件、柔性垫和限位片，所述支撑件具有安装面，所述柔性垫具有相对的第一面和第二面，所述第一面连接于所述安装面，所述限位片连接于所述第二面；所述限位片上设置有限位孔，所述限位孔的形状和尺寸适于与晶片适配，以适于容纳晶片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 新疆蓝晶新材料科技有限公司 北京中企祥科技有限公司 用于晶片的治具
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