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申请/专利权人：苏州芯默科技有限公司
摘要：本发明提供了一种晶圆退火设备，该晶圆退火设备包括：舱体，设置于舱体内部且呈盘旋状的加热管组，以及设置于舱体侧部的供气板；加热管组包括：呈盘旋状的加热管与套设于加热管外侧并与加热管形成环形盘旋通道且呈盘旋状的保护管，保护管两端轴向向外延伸出舱体侧部，加热管两端所形成的管线轴向向外延伸出保护管，供气板设置于保护管端部且管线自供气板伸出，供气板开设连通环形盘旋通道的进气口，并于进气口形成向环形盘旋通道输送气体的进气头，以由环形盘旋通道内流动的气体对加热管进行温度调整。通过本发明，实现对晶圆的均匀加热。
主权项：1.一种晶圆退火设备，其特征在于，包括：舱体，设置于所述舱体内部且呈盘旋状的加热管组，以及设置于所述舱体侧部的供气板；所述加热管组包括：呈盘旋状的加热管与套设于所述加热管外侧并与所述加热管形成环形盘旋通道且呈盘旋状的保护管，保护管两端轴向向外延伸出所述舱体侧部，加热管两端所形成的管线轴向向外延伸出所述保护管，所述供气板设置于所述保护管端部且所述管线自所述供气板伸出，所述供气板开设连通所述环形盘旋通道的进气口，并于所述进气口形成向所述环形盘旋通道输送气体的进气头，以由所述环形盘旋通道内流动的气体对所述加热管进行温度调整。
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权利要求：
百度查询： 苏州芯默科技有限公司 一种晶圆退火设备
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