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申请/专利权人：深圳市卓兴半导体科技有限公司

摘要：本发明涉及自动化设备技术领域，公开了一种物料转移设备和晶片转移设备。其中，物料转移设备包括：机架、驱动装置、至少两个运行装置、以及至少两个检测装置。驱动装置安装在机架上；运行装置与驱动装置驱动连接，至少两个运行装置协同运动，运行装置包括安装座和驱动安装座转动的驱动机构、以及安装在安装座上的运行机构，运行机构包括操作头，操作头相对安装座滑动和转动；至少两个检测装置间隔安装在机架上，检测装置配置为检测并控制运行装置运动。通过运行装置进行转移，且通过检测装置对运行装置进行检测，从而对运转装置进行准确定位，提高效率和提高转移的准确性。且运行装置中的运行机构在跟随安装座转动的过程中可以进行位置校准。

主权项：1.一种物料转移设备，其特征在于，包括：机架；驱动装置，所述驱动装置安装在所述机架上；至少两个运行装置，所述运行装置与所述驱动装置驱动连接，所述至少两个运行装置协同运动，所述运行装置包括安装座和驱动所述安装座转动的驱动机构、以及安装在所述安装座上的运行机构，所述运行机构包括操作头，所述操作头相对所述安装座滑动和转动；以及至少两个检测装置，所述至少两个检测装置间隔安装在所述机架上，所述检测装置配置为检测并控制所述运行装置运动；其中，所述物料转移设备包括第一承载盘和第二承载盘，所述运行装置配置为在所述驱动装置的驱动下介于所述第一承载盘和所述第二承载盘之间运动；其中，所述运行装置包括：安装座，所述安装座的周侧上设有至少一个安装工位；驱动机构，所述驱动机构配置于驱动所述安装座转动；以及至少一个运行机构，所述运行机构对应设置在所述安装工位上并跟随所述安装座转动；所述运行机构包括操作头，所述操作头配置为相对所述安装工位滑动和转动；其中，所述运行机构还包括：与所述操作头转动驱动连接的第一驱动组件、以及配置于驱动所述操作头滑动的第二驱动组件；其中，所述第二驱动组件与所述第一驱动组件连接，以用于驱动所述第一驱动组件相对所述安装工位滑动，所述第一驱动组件用于驱动所述操作头相对所述安装工位转动；所述第一驱动组件包括中空的转轴，所述操作头与所述转轴连通以用于形成连通的腔体；其中，所述操作头包括：芯部，所述芯部具有开口和与所述开口连通的芯内腔；所述芯部与所述转轴连通以用于形成连通的腔体；第一固定套，所述芯部穿设于所述第一固定套内，所述第一固定套与所述转轴连接。

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百度查询： 深圳市卓兴半导体科技有限公司 物料转移设备和晶片转移设备