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申请/专利权人：琳得科株式会社
摘要：本发明的课题在于提供具有高阻气性及高表面弹性模量、且具有优异的湿热耐久性的阻气膜、在整个表面均针孔少而具有高阻气性的阻气膜、以及它们的制造方法。第1阻气膜具有包含硅及氧的阻气层，在上述阻气层的厚度方向上具有包含硅、氧及氮且氮的元素比率为5at％以上的区域，该区域的厚度dM存在30nm以上。第2阻气膜为具有包含硅及氧的阻气层的阻气膜，且在将给定尺寸的上述阻气膜分区为给定数量的情况下，给定条件下的水蒸气透过率小于1.0×10‑3gm2day的区块数量存在给定比例以上。
主权项：1.一种阻气膜，其具有包含硅及氧的阻气层，在所述阻气层的厚度方向上具有包含硅、氧及氮且氮的元素比率为5at％以上的区域，该区域的厚度dM存在30nm以上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 琳得科株式会社 阻气膜及阻气膜的制造方法
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