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一种用于带有凸球面的光学件的抛光方法 

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申请/专利权人:北京创思工贸有限公司

摘要:本申请提供一种用于带有凸球面的光学件的抛光方法,包括步骤:提供一个保护件,将保护件设置在光学件的背面;通过第一抛光磨具和第二抛光磨具分别对光学件正面的凸球面进行粗抛光,其中凸球面包括位于中间的局部弧形面和位于外侧的局部环形面,第一抛光磨具用于粗抛光局部弧形面,第二抛光磨具用于粗抛光局部环形面;通过第三抛光磨具和第四抛光磨具分别对粗抛光后的光学件正面的凸球面进行精抛光,其中第三抛光磨具用于精抛光局部弧形面,第四抛光磨具用于精抛光局部环形面;将精加工后的光学件从保护件上分离。解决了现有抛光工艺对平面基板上的小凸球面无法进行全覆盖抛光的问题。

主权项:1.一种用于带有凸球面的光学件的抛光方法,其特征在于,所述方法包括步骤:提供一个保护件,将保护件设置在光学件的背面;通过第一抛光磨具和第二抛光磨具分别对光学件正面的凸球面进行粗抛光,其中所述凸球面包括位于中间的局部弧形面和位于外侧的局部环形面,所述第一抛光磨具用于粗抛光所述局部弧形面,所述第二抛光磨具用于粗抛光所述局部环形面;通过第三抛光磨具和第四抛光磨具分别对粗抛光后的光学件正面的凸球面进行精抛光,其中所述第三抛光磨具用于精抛光所述局部弧形面,所述第四抛光磨具用于精抛光所述局部环形面;将精加工后的光学件从所述保护件上分离。

全文数据:

权利要求:

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