龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江达仕科技有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆防掉落测试模块，包括晶圆盒，所述晶圆盒内设置有用于晶圆水平放置的卡槽，所述晶圆盒的底部设置有水平稳定机构；所述水平稳定机构包括设置在所述晶圆盒底部的水平调节平台，以及设置在测试机台上并位于所述水平调节平台下方的支撑底座；所述支撑底座与水平调节平台之间设置有位于所述支撑底座一端的主动调节机构，位于所述支撑底座另一端的从动调节机构，以及感测模块。本发明可以通过感测模块在线感应水平调节平台的水平度，并通过主动调节机构与从动调节机构的配合实现对水平调节平台水平度的实时在线调节，从而确保水平调节平台上晶圆盒的水平度以避免测试过程中晶圆从晶圆盒的卡槽内掉落。
主权项：1.一种晶圆防掉落测试模块，包括晶圆盒30，所述晶圆盒30内设置有用于晶圆40水平放置的卡槽31，其特征在于：所述晶圆盒30的底部设置有水平稳定机构；所述水平稳定机构包括设置在所述晶圆盒30底部的水平调节平台21，以及设置在测试机台上并位于所述水平调节平台21下方的支撑底座10；所述支撑底座10与水平调节平台21之间设置有位于所述支撑底座10一端的主动调节机构，位于所述支撑底座10另一端的从动调节机构，以及感测模块。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江达仕科技有限公司 一种晶圆防掉落测试模块
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号