龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：四川禾丰光芯科技有限公司
摘要：本发明公开了一种透射式滤波器及其制备方法、EUV光刻机。透射式滤波器包括一个或多个滤波器单元，每个滤波器单元包括：衬基框架，包围中心开口；支撑层，跨越所述中心开口支撑在所述衬基框架上；滤波层，设置在所述支撑层上，所述滤波层包括形成在所述中心开口的区域上方的周期性滤波阵列，所述周期性滤波阵列以包围滤波开口的滤波结构为基础单元进行周期性排列，其中，所述滤波层至少部分地嵌入所述支撑层中。根据本发明的透射式滤波器可以实现即插即用，可以实现中红外辐射波长的超高效率抑制，并能够在很大程度透过一同入射的EUV光波，微纳结构牢固。
主权项：1.一种透射式滤波器，包括一个或多个滤波器单元，每个滤波器单元包括：衬基框架，包围中心开口；支撑层，跨越所述中心开口支撑在所述衬基框架上；滤波层，设置在所述支撑层上，所述滤波层包括形成在所述中心开口的区域上方的周期性滤波阵列，所述周期性滤波阵列以包围滤波开口的滤波结构为基础单元进行周期性排列，其中，所述滤波层至少部分地嵌入所述支撑层中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川禾丰光芯科技有限公司 透射式滤波器及其制备方法、EUV光刻机
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号