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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种提高EUV光源输出功率的方法及装置，该方法提供可电离的预设气体，对预设气体进行电离并施加箍缩力形成箍缩至第一预设位置的高价态等离子体；在第一预设位置内界定第二预设位置，对第二预设位置施加加强磁场使高价态等离子体被二次箍缩，得到二次箍缩的高价态等离子体；提供预设脉冲激光，照射第二预设位置内被二次箍缩的高价态等离子体，在该预设脉冲激光及箍缩力的共同作用下，使二次箍缩的高价态等离子体压缩并加热至产生EUV辐射。本发明解决等离子体箍缩困难、汇聚效果差的问题，进而提高EUV辐射的转换效率。本发明还提供一种提高EUV光源输出功率的装置，具有与上述方法相同的有益效果。
主权项：1.一种提高EUV光源输出功率的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供可电离的预设气体，对预设气体进行电离并施加箍缩力形成箍缩至第一预设位置的高价态等离子体；在所述第一预设位置内界定第二预设位置，对所述第二预设位置施加加强磁场使高价态等离子体被二次箍缩，得到二次箍缩的高价态等离子体；提供预设脉冲激光，照射所述第二预设位置内被二次箍缩的高价态等离子体，在该预设脉冲激光及箍缩力的共同作用下，使二次箍缩的高价态等离子体压缩并加热至产生EUV辐射。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种提高EUV光源输出功率的方法及装置
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