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申请/专利权人：上海精积微半导体技术有限公司
摘要：本发明提供了一种液冷系统故障监控方法及半导体测试设备，液冷系统故障监控方法包括：获取半导体测试设备的设备配置参数，设备配置参数包括工作模式、标准流量Qs与标准阻力系数fs及设备发热量；检测冷却液流入与流出液冷系统所含管道时的温度与压力，以确定冷却液流经管道所形成的温度差与压力差，基于温度差以及设备发热量计算当前流量Qn，基于压力差计算当前阻力系数fn；比较当前流量Qn与标准流量Qs及当前阻力系数fn与标准阻力系数fs，以确定液冷系统发生故障的故障类型及故障点。本申请能够准确地判断出半导体测试设备所含液冷系统所出现的故障类型与故障点位置并避免故障检测的滞后性，确保了半导体测试设备的可靠运行。
主权项：1.半导体测试设备的液冷系统故障监控方法，其特征在于，包括：获取半导体测试设备的设备配置参数，所述设备配置参数包括工作模式、与所述工作模式匹配的标准流量Qs与标准阻力系数fs、以及与所述工作模式匹配的设备发热量；检测冷却液流入与流出液冷系统所含管道时的温度与压力，以确定冷却液流经所述管道所形成的温度差与压力差，基于所述温度差以及所述设备发热量计算当前流量Qn，基于所述压力差计算当前阻力系数fn；判断所述当前流量Qn与所述标准流量Qs所形成的差值的绝对值与所述标准流量Qs之比是否小于等于设定阈值；若是，认定液冷系统正常，若否，则进一步判断所述当前流量Qn是否大于所述标准流量Qs，并比较所述当前阻力系数fn与所述标准阻力系数fs，以确定所述液冷系统发生故障的故障类型及故障点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海精积微半导体技术有限公司 液冷系统故障监控方法及半导体测试设备
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