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申请/专利权人：三星SDI株式会社
摘要：本发明提供一种硬掩模组合物，包含硬掩模组合物的固化产物的硬掩模层，以及使用包含硬掩模组合物的固化产物的硬掩模层形成图案的方法，硬掩模组合物包含由化学式1表示的化合物和溶剂，[化学式1]
主权项：1.一种硬掩模组合物，包括：由化学式1表示的化合物；和溶剂，[化学式1] 其中，在化学式1中，Ar1至Ar3、Ar11、Ar21以及Ar31各自独立地为经取代或未经取代的C6至C30芳香族烃基，经取代或未经取代的C3至C30杂芳香族烃基，其中所述芳香族烃基、杂芳香族烃基或其组合中的两个或更多个通过单键或经取代或未经取代的C1至C10亚烷基连接的基团，或其组合，R1至R3各自独立地为氢、氘、经取代或未经取代的C1至C30饱和或不饱和脂肪族烃基、经取代或未经取代的C3至C30饱和或不饱和脂环族烃基、经取代或未经取代的C1至C30饱和或不饱和杂脂肪族烃基、经取代或未经取代的C3至C30饱和或不饱和杂脂环族烃基、经取代或未经取代的C6至C30芳香族烃基、经取代或未经取代的C4至C30杂芳香族烃基或其组合，R11、R21以及R31各自独立地为氢、氘、经取代或未经取代的C1至C30饱和或不饱和脂肪族烃基、经取代或未经取代的C3至C30饱和或不饱和脂环族烃基，或经取代或未经取代的C6至C30芳香族烃基，n为0至2的整数，以及m为1至4的整数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星SDI株式会社 硬掩模组合物、硬掩模层以及形成图案的方法
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