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申请/专利权人：德沪涂膜设备(苏州)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种掩膜板调整装置及晶硅涂布系统，其中，掩膜板调整装置，包括第一传动组、Y轴驱动组件和Z轴驱动组件；第一传动组包括至少两个传动件，掩膜板安装于第一传动组并在第一传动组的传动件之间沿X轴向移动；Y轴驱动组件包括支座以及用于驱动支座沿Y轴移动的Y轴驱动件；Z轴驱动组件包括升降板以及用于驱动升降板沿Z轴移动的Z轴驱动件；其中，第一传动组的至少一个传动件安装于支座，且Y轴驱动件安装于升降板，或，第一传动组的至少一个传动件安装于升降板，Z轴驱动件安装于支座；X轴、Y轴、Z轴彼此垂直。本实用新型的掩膜板调整装置及晶硅涂布系统用于实现对掩膜板位置的精确调节，缩小掩膜板与晶硅之间的间隙。
主权项：1.一种掩膜板调整装置，其特征在于，包括：第一传动组，所述第一传动组包括至少两个传动件，所述掩膜板安装于所述第一传动组并在所述第一传动组的传动件之间沿X轴向移动；Y轴驱动组件，包括支座以及用于驱动所述支座沿Y轴移动的Y轴驱动件；Z轴驱动组件，包括升降板以及用于驱动所述升降板沿Z轴移动的Z轴驱动件；其中，所述第一传动组的至少一个传动件安装于所述支座，且所述Y轴驱动件安装于所述升降板，或，所述第一传动组的至少一个传动件安装于所述升降板，所述Z轴驱动件安装于所述支座；所述X轴、Y轴、Z轴彼此垂直。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 德沪涂膜设备(苏州)有限公司 一种掩膜板调整装置及晶硅涂布系统
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