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申请/专利权人：江苏维普光电科技有限公司

摘要：本发明公开了一种使用多个光学头进行掩膜版检测的方法，方法基于一运动平台实现，运动平台包括多个与相应光学头相连以带动相应光学头沿X向移动的X轴移动部件和适于承载掩膜版并带动其上的掩膜版沿Y向移动和绕Z向旋转的承载平台；方法的步骤中包括：标定多个光学头的相对偏差位置：将其中一个光学头作为主光学头，将其余光学头作为副光学头，利用掩膜版的同一Mark点在各光学头的视场中心的坐标得到各副光学头相对主光学头的相对偏差位置；标定运动平台的XY向正交性角度θ：以主光学头为基准利用掩膜版的Mark点组标定运动平台的XY向正交性角度θ。通过该方法缩短了掩膜版缺陷检测的总体时间，提高了检测的效率。

主权项：1.一种使用多个光学头进行掩膜版检测的方法，其特征在于，方法基于一运动平台实现，运动平台包括多个与相应光学头相连以带动相应光学头沿X向移动的X轴移动部件和适于承载掩膜版并带动其上的掩膜版沿Y向移动和绕Z向旋转的承载平台；方法的步骤中包括：标定多个光学头的相对偏差位置：将其中一个光学头作为主光学头，将其余光学头作为副光学头，利用掩膜版的同一Mark点在各光学头的视场中心的坐标得到各副光学头相对主光学头的相对偏差位置；标定运动平台的XY向正交性角度θ：以主光学头为基准利用掩膜版的Mark点组标定运动平台的XY向正交性角度θ；标定运动平台的缩放：以主光学头为基准利用掩膜版的Mark点组标定运动平台的X向缩放值scaleX和Y向缩放值scaleY；光学头的对准：利用掩膜版的Mark点建立主光学头在运动平台上的平台坐标和掩膜版设计图的坐标的映射关系，实现主光学头的对准；利用各副光学头与主光学头的相对偏差位置以及主光学头在运动平台上的平台坐标和掩膜版设计图的坐标的映射关系，建立副光学头在运动平台上的平台坐标和掩膜版设计图的坐标的映射关系，实现副光学头的对准；检测区域及扫描路径设定：利用掩膜版设计图划分和光学头对应的检测区域，设定各检测区域对应光学头的蛇形扫描路径，即根据各光学头的视场和像素大小对对应检测区域内进行X向条带的切割以及Y向步进长度的设定；对掩膜版进行扫描检测：控制运动平台和利用多个光学头按照设定对承载平台上的掩膜版进行扫描检测；在对掩膜版进行扫描检测过程中：主光学头在掩膜版上的检测区域参照主光学头在掩膜版设计图上划分的检测区域，各副光学头在掩膜版上的检测区域参照各副光学头在掩膜版设计图上划分的检测区域并使用各副光学头相对主光学头的相对偏差位置进行调整；X向条带长度和Y向步进长度使用标定的运动平台的X向缩放值scaleX和Y向缩放值scaleY进行调整；Y向步进过程中使用标定的运动平台的XY向正交性角度θ进行补偿；Y向步进长度按照像素大小小的光学头的视场进行步进。

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