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申请/专利权人：徐海腾
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗后脱水装置，包括底板，所述底板的底侧固定安装有两个支撑腿，底板的顶侧固定安装有烘干仓，底板的底侧固定安装有旋转电机，旋转电机的输出端转动贯穿底板和烘干仓并固定安装有转动杆，转动杆的另一端固定连接有放置盒，通过放置盒开设的多个放置槽，多个放置槽能够同时放置多个硅片本体，解决了在硅片本体数量多的时候，烘干速度慢的问题，且通过多个放置槽和多个夹板之间存在的缝隙，能够放置不同厚度的硅片本体，通过设置的旋转电机，旋转电机运行就能够带动转动杆另一端的放置盒转动，就能够将硅片本体表面附着的水分甩干，配合热气烘干，就能将硅片本体表面的水分全部去除干净，取代了传统的人工晾晒法。
主权项：1.一种硅片清洗后脱水装置，包括底板1，其特征在于，所述底板1的底侧固定安装有两个支撑腿2，底板1的顶侧固定安装有烘干仓3，底板1的底侧固定安装有旋转电机15，旋转电机15的输出端转动贯穿底板1和烘干仓3并固定安装有转动杆16，转动杆16的另一端固定连接有放置盒17，放置盒17的底侧内壁开设有多个漏水孔18，放置盒17两侧内壁均开设有多个放置槽19，放置盒17开设有放置孔20，放置孔20与多个放置槽19相连通，放置孔20内活动安装有放置框21，放置框21的相互靠近的两侧均固定安装有多个夹板22，多个夹板22均位于多个放置槽19内，多个夹板22与多个放置槽19之间均夹持有硅片本体28，放置框21上和放置盒17的一侧分别设置有限位组件和固定组件，烘干仓3的外侧设置有加热组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 徐海腾 一种硅片清洗后脱水装置
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