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申请/专利权人：上海邃铸科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种硅片浸泡支架，包括连接杆与多个硅片装载卡盘，所述硅片装载卡盘为环形结构，所述环形结构上开设有安装孔，多个硅片装载卡盘均通过所述安装孔层叠安装在所述连接杆上，所述硅片搭置在所述环形结构的硅片装载卡盘顶部的内沿。本实用新型结构简单，操作方便，采用多个硅片装载卡盘层叠套设在连接杆上的技术手段，工具组装便捷，且硅片装载卡盘的套入设计可根据需要处理的硅片多少进行调整，清洗完成后可便捷的将多片硅片同时取出，提高工作效率。
主权项：1.一种硅片浸泡支架，其特征在于，包括连接杆2与多个硅片装载卡盘1，所述硅片装载卡盘1为环形结构，所述环形结构上开设有安装孔，多个硅片装载卡盘1均通过所述安装孔层叠安装在所述连接杆2上，所述硅片搭接在所述环形结构的硅片装载卡盘1顶部的内沿。
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权利要求：
百度查询： 上海邃铸科技有限公司 硅片浸泡支架
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