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生产用于半导体生产的树脂的方法 

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申请/专利权人:DDP特种电子材料美国第5有限公司;DDP特种产品日本股份公司

摘要:一种生产离子交换树脂的方法。该方法包括以下步骤:a提供采取酸形式的碱性离子交换树脂,该树脂包含氨基多元醇基团并且一旦从碱形式转化到酸形式就具有15%至30%的膨胀体积%,和b用水或酸的水溶液洗涤该树脂。

主权项:1.一种生产离子交换树脂的方法;所述方法包括以下步骤:a提供通过向碱形式的树脂中加入酸的水溶液并允许树脂浸泡而产生的酸形式的碱性离子交换树脂,所述树脂包含氨基多元醇基团并且一旦从碱形式转化到酸形式就具有15%至30%的膨胀体积%,b用水或酸的水溶液洗涤所述树脂,和c通过使所述树脂与碱的水溶液接触,使所述树脂转换回碱形式,其中,所述树脂具有大网络结构,其中,步骤b中所用的水是温度为50℃至100℃的去离子水。

全文数据:

权利要求:

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