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申请/专利权人：长沙韶光芯材科技有限公司
摘要：本发明涉及镀膜检测技术领域，具体涉及一种玻璃基板镀膜检测方法及系统。该方法将镀膜玻璃基板分割为局部板块，获取局部板块横截面的SEM图像和局部板块的镀膜厚度测量值；根据每个局部板块与其所在镀膜玻璃基板的其他每个局部板块之间横截面的SEM图像差异，获取每个局部板块的误差程度；根据每个镀膜玻璃基板的每个局部板块的误差程度和镀膜厚度测量值，获取每个镀膜玻璃基板的实际镀膜厚度，对镀膜玻璃基板的镀膜是否合格进行检测。本发明通过获取误差程度准确对每个局部板块的镀膜厚度测量值进行修正，降低了外在因素对镀膜厚度测量值的影响，进而准确获取每个镀膜玻璃基板的实际镀膜厚度，对玻璃基板的镀膜情况进行准确检测。
主权项：1.一种玻璃基板镀膜检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：将镀膜玻璃基板分割为预设数量个局部板块，获取每个局部板块横截面的SEM图像和每个局部板块的镀膜厚度测量值；根据每个局部板块与其所在镀膜玻璃基板的其他每个局部板块之间横截面的SEM图像差异，获取每个局部板块的误差程度；根据每个镀膜玻璃基板的每个局部板块的误差程度和镀膜厚度测量值，获取每个镀膜玻璃基板的实际镀膜厚度；所述误差程度的获取方法为：对于任一个局部板块，根据该局部板块与其他每个局部板块之间横截面的SEM图像差异，获取该局部板块与其他每个局部板块的区别程度值；将该局部板块与其所在镀膜玻璃基板的其他每个局部板块的区别程度值的均值，作为该局部板块的参考程度值；将该局部板块的参考程度值归一化的结果，作为该局部板块的误差程度值；所述实际镀膜厚度的获取方法为：将每个局部板块的误差程度值进行负相关且归一化的结果，作为对应局部板块的可信程度值；根据每个局部板块的可信程度值和镀膜厚度测量值，获取每个局部板块的参考镀膜厚度；其中，可信程度值和镀膜厚度测量值均与参考镀膜厚度为正相关关系；将每个镀膜玻璃基板的所有局部板块的参考镀膜厚度的均值，作为对应镀膜玻璃基板的实际镀膜厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长沙韶光芯材科技有限公司 一种玻璃基板镀膜检测方法及系统
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