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申请/专利权人：周星工程股份有限公司
摘要：提供了一种用于监控基板以确定处理过的基板的状态并检查处理过的基板中是否存在异常的设备和方法。用于检查基板的设备包括相对于基板移动并用于安装基板的基板安装部、用于监控基板的测量部、被配置为控制测量部的移动路径使得相对于多个基板至少一些区域从彼此不同的位置被监控的控制部，以及分析部，其被配置为从关于所述多个基板的监控信息来确定异常的存在。
主权项：1.一种用于检查基板的设备，所述设备包括：基板安装部，用于安装基板；测量部，相对于所述基板移动并用于监控所述基板；控制部，用于控制所述测量部的移动路径，使得相对于多个基板监控第一基板的一些区域以及第二基板的一些区域，其中所述多个基板包含彼此相异的所述第一基板与所述第二基板，所述第二基板的所述一些区域的至少一部分不同于所述第一基板的所述一些区域；以及分析部，用于通过确定所述第一基板的监控信息是否属于基于所述第一基板所设定的一误差范围内以及确定所述第二基板的监控信息是否属于基于所述第二基板所设定的一误差范围内来确定所述多个基板的异常的存在，其中通过将所述第一基板的所述监控信息直接应用于所述第二基板以及将所述第二基板的所述监控信息直接应用于所述第一基板，当所述第一基板的所述监控信息或所述第二基板的所述监控信息中的至少一者落在所述误差范围之外时，所述分析部确定所述第一基板的处理状态及所述第二基板的处理状态两者为有缺陷。
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百度查询： 周星工程股份有限公司 基板检查设备和基板检查方法
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