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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所

摘要：本发明公开了一种健康监测系统的制备方法，包括：提供一衬底；在衬底上形成柔性压力传感器、电阻式温度传感器、电容式湿度传感器、生物化学传感器、量子点敏化太阳能电池，形成柔性压力传感器包括：采用飞秒激光多丝加工技术在氮气氛围下烧蚀出具有蜂窝状微结构的第一硅模板；利用第一硅模板，采用倒模工艺处理聚二甲基硅氧烷薄膜，形成具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层，该聚二甲基硅氧烷薄膜层与第一硅模板具有相反的微结构；将具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层转移至第一基底层上；在具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层上形成MXene活性材料层；在MXene活性材料层上形成叉指电极层，以输出MXene活性材料层在受压状态下产生的电信号。

主权项：1.一种健康监测系统的制备方法，其特征在于，包括：提供一衬底；以及在所述衬底上形成柔性压力传感器、电阻式温度传感器、电容式湿度传感器、生物化学传感器、量子点敏化太阳能电池，形成所述柔性压力传感器包括：采用飞秒激光多丝加工技术在氮气氛围下烧蚀出具有蜂窝状微结构的第一硅模板；利用所述第一硅模板，采用倒模工艺处理聚二甲基硅氧烷薄膜，形成具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层，所述具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层与所述第一硅模板具有相反的微结构；将所述具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层转移至第一基底层（11）上；在所述具有蜂窝状微结构的聚二甲基硅氧烷薄膜层（12）上形成MXene活性材料层（13）；以及在所述MXene活性材料层（13）上形成叉指电极层（14），以输出所述MXene活性材料层在受压状态下产生的电信号；所述量子点敏化太阳能电池包括ZnSCdSeCdS黑TiO2光阳极和CuS对电极；在所述衬底上形成所述量子点敏化太阳能电池包括：采用飞秒激光多丝加工技术制备氮掺杂黑TiO2，利用所述氮掺杂黑TiO2形成所述ZnSCdSeCdS黑TiO2光阳极；其中，采用飞秒激光多丝加工技术制备氮掺杂黑TiO2包括：采用飞秒激光多丝加工技术在氮气环境及尿素溶液环境下辐照TiO2悬浮液，其中飞秒激光的单脉冲能量固定在1.8mJ；或者，采用飞秒激光多丝加工技术在氮气环境下辐照TiO2粉末，其中飞秒激光的单脉冲能量固定在1.0mJ。

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权利要求：

百度查询： 中国科学院半导体研究所 健康监测系统及其制备方法