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申请/专利权人：杭州电子科技大学
摘要：本发明公开了一种基于植酸‑植酸盐的高效绿色化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法，抛光液包括以下重量百分比的组分：0.01wt％～0.2wt％的植酸、0.1wt％～1wt％的植酸盐、0.5wt％～3wt％的H2O2、10wt％～30wt％的磨料以及余量为去离子水。本发明通过在抛光液中添加具有多种功效的植酸‑植酸盐，不仅可以调节pH，还可以充当缓蚀剂、络合剂，可有效简化抛光液组分结构，减少点蚀缺陷，降低抛光液中的游离金属，提高抛光后金属的防腐能力。同时，植酸‑植酸盐不会与过氧化氢反应，可以有效提高抛光液的使用寿命和氧化能力。
主权项：1.一种基于植酸-植酸盐的高效绿色化学机械抛光液，其特征在于，包括以下重量百分比的组分：0.01wt％～0.2wt％的植酸、0.1wt％～1wt％的植酸盐、0.5wt％～3wt％的H2O2、10wt％～30wt％的磨料以及余量为去离子水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州电子科技大学 一种基于植酸-植酸盐的高效绿色化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法
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